电容式传感器的测量电路

时间:2023-03-13来源:佚名

1、调频电路

电容式传感器的测量电路

当被测信号不为0时,ΔC≠0,振荡器频率有相应变化

电容式传感器的测量电路

特点:0.01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量, 并与计算机通讯。

2、运算放大器式电路

电容式传感器的测量电路

电容式传感器的测量电路

如果传感器是一只平板电容,则Cx=εS/d

结论:Uo的相位与输入反相,大小和位移呈线性关系

3、二极管双T形交流电桥

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4、环形二极管充放电法

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5、脉冲宽度调制电路

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