电容式传感器的灵敏度及非线性

时间:2023-03-13作者:佚名

单级变隙电容的相对变化量为:

电容式传感器的灵敏度及非线性

非线性误差为:

结论:要提高灵敏度,应减小d0,但非线性误差却增大

差动式结构:

电容式传感器的灵敏度及非线性

电容式传感器的灵敏度及非线性

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