微细加工技术

一、微机械及其特征
1.微机械的概念
微型电子机械系统(MEMS)，是指集微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。
微型机械在美国常称为微型机电系统MEMS(MicroElectro Mechanical System)，在日本称为微机械（Micromachine）,欧洲则称为微系统（Micro-System）。
微机械按其尺寸特征可分为微小机械（1～10mm），微机械（1μm～1mm），纳米机械（1nm～1μm）。微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活将产生革命性的影响。并在未来高科技战争中扮演着举足轻重的角色，是关系国民经济发展和国家安全保障的关键技术。
2.微机械的特征
(1)体积小，精度高，重量轻
(2)性能稳定，可靠性高
(3)能耗低，灵敏度和工作效率高
(4)多功能和智能化
(5)适用于大批量生产，制造成本低
二、微细加工工艺方法
微细加工是指加工尺度为微米级范围的加工方式，是MEMS发展的重要基础。
1.超微细加工
2.光刻加工
3.体刻蚀加工技术
4.面刻蚀加工技术
5.LIGA技术
6.封接技术
7.分子装配技术
三、微细加工技术的发展与趋势
微细加工技术总的发展趋势是：
(1)加工方法的多样化
(2)加工材料从单纯的硅向着各种不同类型的材料发展，
(3)提高微细加工的经济性
(4)加快微细加工的机理研究