半导体气敏传感器的工作原理

　　半导体气敏传感器是利用半导体气敏元件同气体接触后，造成半导体性质的变化来检测特定气体的成分或者测量其浓度。

　　半导体气敏传感器大体上可以分为电阻式和非电阻式两类。电阻式半导体气敏倍感器是利用气敏半导体材料，如氧化锡(SnO2)、氧化锰(MnO2)等金用氧化物制成敏感元件，当它们吸收了可燃气体的烟雾，如氢、一氧化碳、烷、醚、醉、苯以及天然气等时，会发生还原反应，放出热量，使元件温度相应增高，电阻发生变化。利用半导体材料的这种待性，将气体的成分和浓度变换成电信号，进行监测和报警。

　　图4.42所示为典型气敏元件的阻值—浓度关系。可以看出，元件对不同气体的敏感程度不同，如对乙酸、乙酵、氢气等具有较高的灵敏度，而对甲烷的灵敏度较低。一般地，随着气体的浓度增加.元件阻值明显增大，在一 定范围内，呈线性关系。