真空等离子处理仪百科

真空等离子处理仪是等离子清洗机一种应用行业，通过等离子体对产品进行处理，并提供表面解决方案，带来清洗、活化等多种应用的设备。

真空等离子处理仪原理

通过等离子发生器产生等离子体与基体进行反应，带来物理化学多种放应，通过物理反应轰击产品表面，清洗污染物，同时气体分子与产品表面进行化学反应，如：氧气与碳化物反应生成二氧化碳、一氧化碳等物质；氢气与氧化物生产水分等；

真空等离子处理仪使用说明

1. 操作前要检查真空系统是否正常，如真空泵是否运转、阀门是否正确开启等。

2. 根据待处理产品的特性，选择合适的处理气体、功率、时间等参数。

3. 开始处理前，要先进行预处理，处理掉等离子无法解决的杂质，方便等离子清洗进行。

4. 开始处理后，要及时观察处理效果，如表面颜色变化、光泽度等，可以适当调整处理参数。

5. 处理结束后，要关闭真空系统，将产品放入下一道工序中。

真空等离子处理仪参数

设备型号：PM-210LN

控制系统：PLC（标配）/PC（可选）

整机规格：W1200×D950×H2100mm

额定功率：15KW

腔体规格：W1200×D950×H2100mm

真空等离子处理仪广泛应用于材料表面处理、光学薄膜制备、光伏电池制备、微电子加工、生物医学等领域，是常见的一种表面处理解决方案。