等离子体处理设备百科

等离子体处理设备是利用等离子体对物品进行处理，解决表面难题的设备；设备运行时，腔体内部产生高能电场，气体被电离成等离子体，等离子体有良好导电性与产品接触反应，带来物理、化学等多种变化，达到清洗、活化、刻蚀等多种目的。

等离子体处理设备类型

1. 等离子体清洗设备：利用等离子体对表面进行清洗和去污的设备，可以去除表面的有机物、金属氧化物、氧化铁等污染物。

2. 等离子体刻蚀设备：利用等离子体对材料表面进行刻蚀的设备，也就是腐蚀表面形成如线路图等形状，可以进行微细加工和制造。