等离子体表面处理工艺

等离子体表面处理工艺是非常重要的一种表面加工技术，其核心就是利用等离子体在高能量场中的物理、化学反应对材料表面进行反应，达到改性、活化等处理需求，那么有哪些应用方向呢？

1、等离子体清洗：通过等离子体反应，将表面的污染物、氧化物等物质去除，等离子体轰击或生成挥发性物质，通过真空泵去除。

2、等离子体改性：利用等离子体反应，微观层次下，材料表面原本的结构发生改成，生产新的基团或者结构，从而获得表面活化、表面亲水等效果

3、等离子体刻蚀：通入腐蚀性气体对表面进行等离子体处理，气体与表面进行反应，腐蚀掉部分，从而形成细微的结构或者器件。