蔡司扫描电镜原理及应用

蔡司扫描电镜是我国金属科研工作之中应用广泛的“神器”。可以说，几乎每个研究生都度过了自己最重要的科研经历。今天，友硕为需要应用扫描电子显微镜的新老同学和科技工作者介绍扫描电子显微镜的原理和应用。

蔡司电镜使用电子束成像，类似于光学显微镜使用可见光成像。因为电子的波长比光的波长小得多，所以电子显微镜的分辨率比光学显微镜高。

蔡司扫描电子显微镜，简称SEM，已成为材料表征的强有力的多功能工具，在材料、冶金、矿产、生物等领域得到了广泛的应用。

扫描电镜的主要组成部分有：电子光学系统、信号采集与处理系统、图像显示与记录系统、真空系统、电源及控制系统等。

是用精细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品的相互作用产生二次电子和背散射电子用以观察和分析样品的表面或断口形貌。

在扫描电镜之中，电子束以网格模式扫描样品。首先，电子枪在枪管底部产生电子。当电子的热能超过源材料的功函数时，电子被释放出来，并以高速向带正电荷的阳极加速。整个电子柱必须处于真空状态。

像电子显微镜的所有组件一样，电子枪被密封在一个特殊的真空室之中，以防止污染、震动和噪音。除了保护电子枪不受污染之外，真空环境还有利于获得高分辨率图像。

如果不是真空环境，柱之中可能有其他原子和分子与电子相互作用，使电子束偏转，降低图像质量。高真空环境也提高了柱内探测器对电子的收集效率。