低温等离子清洗机详解

低温等离子清洗机主要由等离子体发生器、气体供给系统、反应室、真空系统、电极及高压电源等组成。

1. 等离子体发生器

等离子体发生器是低温等离子清洗机的核心部件，其主要功能是产生等离子体。等离子体发生器一般由微波源、反射器、感应线圈、介质室等组成。微波源产生微波信号，经过反射器反射，再由感应线圈封装的介质室内发生介质放电，产生等离子体。

2. 气体供给系统

气体供给系统主要由气体瓶、气路系统、流量计等组成，其主要功能是供给反应室内所需的气体。气体供给系统一般包括氧气、氮气、氩气等。