三安光电碳化硅全产业链产线封顶 预计年中可全面投产

“我们的厂房空气洁净度将堪比手术室”(新年走一线 争当领头雁)

施工人员正在对项目最后的部分进行混凝土浇筑。资料图片

长沙晚报1月21日讯(全媒体记者 朱泽寰 周斌 通讯员 褚兴科 王丽)“在完成混凝土浇灌后，预计半小时左右，项目就全面封顶了。”19日，中建五局三公司项目技术负责人陆建臻指着厂房楼顶西南角一块数十平方米的空地告诉记者。陆建臻口中的“项目”，是湖南三安半导体项目的最大单体M2B芯片厂房，这也是国内首条碳化硅全产业链生产线。

记者了解到，这栋M2B芯片厂房占地面积23206平方米，建筑面积52326平方米，于2020年7月开工建设。

厂房内将设置两条并行的碳化硅研发、生产全产业链产线，用以生产高质量、低成本、高稳定性碳化硅衬底及各类器件。“这是国内首条碳化硅芯片量产生产线。”三安光电相关负责人介绍，“碳化硅是电压转化芯片最理想的制作材料之一，成品芯片可广泛应用于新能源汽车充电桩、高功率电机和航空航天等领域。”

走进厂房内，记者看到数万个篮球大小的通风孔规整地“镶嵌”在楼层与楼层的隔板中。陆建臻介绍说：“为保证无尘清洁室大面积生产车间的洁净度，我们需要做好华夫板(利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板)高精度施工，建立洁净空调通风系统形成回风通道。为此，项目在实施过程中每一步都会进行严格的技术复核、技术控制。”

由于该项目建成后将服务于技术密集型半导体产业，因而对空气洁净度提出了较高的要求。中建五局三公司通过在车间内设置新风系统，朝室内不断输送清洁空气，保持室内的正压，再通过广泛铺设的通风孔向外排气，保证车间洁净度。