安徽出台涉及衬底及芯片制备技术的深紫外LED相关政策

　　日前，安徽省经济和信息化厅为加快突破制约制造业发展的关键、共性技术瓶颈，促进制造业高质量发展，出台了《制造业重点领域产学研用补短板产品和关键共性技术攻关指导目录(2021)》。其中，关于深紫外LED则是专用图形化衬底及芯片制备技术的研究及产业化。

　　据了解，深紫外LED专用图形化衬底及芯片制备技术的研究及产业化具体规划主要研究种适用于AlN和高铝组分AlGaN 紫外LED芯片外延生长的纳米图形化蓝宝石衬底，解决UVC半导体外延工艺、提升杀菌效率、改善散热三个问题。