南大“镓敏光电”团队：国际首发宽禁带半导体EUV紫外探测器产品

图1：EUV光谱波长与频率范围分布

我国在半导体短波紫外探测器领域的产业化基础薄弱，200 nm以下紫外光辐照剂量监控和定标长期依靠进口探测器件，不仅受到西方国家的技术封锁，而且时刻存在断供风险。为了突破这一困境，南京大学宽禁带半导体团队在陆海和张荣教授的领导下，自2011年起就开展了200 nm以下短波紫外探测器的研制工作，于2013年首先实现了探测波长低至140 nm 的大感光面宽禁带AlGaN基VUV探测器，这是国内公开报道的第一只半导体真空紫外探测器；在此基础上，该团队进一步发展了探测波长低至5 nm的高量子效率EUV探测器技术，并通过其团队创建的产业化公司“苏州镓敏光电科技有限公司”（镓敏光电）成功进行了技术转化。经过多轮量产型芯片工艺开发与改进，以及系列工业级可靠性验证，“镓敏光电”于2021年10月首次发布4款VUV和EUV探测器芯片产品，分别面向193 nm和13.5 nm紫外光源辐照能量监测，并已开始向国内外若干大型公司批量供货。