业界称三星电子正研发取代碳化硅聚焦环的新材料 碳化硼成有力备选方案
时间：2022-03-03作者：佚名
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3月2日，据媒体消息，三星电子正在研发取代碳化硅(SiC)聚焦环(Focus Ring)的新材料。
业界消息指出，硬度表现优秀的碳化硼(B4C)成为三星有力备选方案。
三星为将B4C打造成新一代聚焦环材料，正在进行相关研发。聚焦环在半导体产业中，主要用于硅片蚀刻工艺，除了能固定硅片之外，也有维持电浆体密度、防止硅片遭污染等功用。 |
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