新款PHEMOS－X半导体扫描仪

前不久，滨松光电开发设计了新式半导体常见故障分析系统PHEMOS-X C15765-01，该系统运用能见光到近红外线来分析缺点。往往能在单个设计中完成这一点，是由于选用了新式多波长激光扫描仪，并融合了该企业所说的"独特的內部光学设计技术"。

滨松光电："通过使用本企业内部的光学设计技术，并重新开始设计了分析系统的构件，如用激光扫描半导体器件的激光扫描仪，精准定位半导体器件的光学台，宽视场观查的微距镜头等。这样一来，灵敏度，分辨率，准确度和易用性都更好了，这些功能相对目前的系统都有很大的提升。"

设计和实际操作

PHEMOS-X是一种半导体故障分析系统，可配置高达5个激光发生器，输出光波长从能见光到近红外线不一。PHEMOS-X仅用一台机器设备就可以高灵敏，高分辨率精准定位故障。