MEMS激光雷达量产首选多个因素详解

依据当今业界规范，车辆的无人驾驶作用可分成L0到L5六个等级。每一个等级的提升都代表着，ADAS(高級驾驶辅助系统)需具有更灵敏的探测性和对更庞杂数据信息的迅速处理能力，以实现更可靠平稳的驾车体验。

现阶段大部分汽车制造商在设计L2级车辆时，一般选用“多个雷达 监控摄像头传感器”的组成，L3等级甚至更高等级，还需要用到其他传感器的辅助。其中最受关注的就是LIDAR(激光雷达)。

LIDAR(激光雷达)

LIDAR能在1秒内发送达到数百万的脉冲光，形成庞大的点云，制作出物质的精准轮廊，进而创建出周边环境的三维模型。比监控摄像头搭建更逼真的3D环境，比毫米波雷达具备更确切的物体识别工作能力。

当今，LIDAR已被研发为ADAS的主要构成部分

依据构造，激光雷达分成两类：机械式激光雷达和固态激光雷达。机械式的安装艰难、扫描仪频率低;固态激光雷又可分成MEMS半固态激光雷达、Flash固态激光雷达和OPA固态激光雷达三种。

在其中，MEMS半固态激光雷达是目前的市场主流，是量产的首选。

MEMS半固态激光雷达实质上是一种硅基半导体元件，工艺为半导体工艺，将所以的机械部件集成到单个芯片上，工艺制程并不高，技术成熟、微镜震幅小、频率高，成本低，相对来说跟容易量产。

MEMS制造工艺