三层面解析微机械MEMS设备的含义

小型化是MEMS传感器技术的具体发展趋势之一，也是科学研究技术的快速发展及其时代的快速发展对传感器的要求。MEMS微电子机械系统(Micro Electro-Mechanical System，MEMS)技术的发展趋势是微机械MEMS传感器形成的直接驱动力。很多都觉得MEMS技术将刮起下一-次工业科技革命，微机械传感器是当前非常成功且最具备实用意义的MEMS设备。

与“一般的”或“基本的"传感器对比，微机械MEMS传感器不仅仅在尺寸上按百分比变小。微机械传感器在原材料、生产加工方法运用标准等层面，与传统的的传感器都是有挺大的不一样的。综合各种各样的参考文献得到，微机械传感器包括3个方面的含义。