新型片上电感器，性能提升3个数量级！

通过在蓝宝石衬底上化学沉积多层的微观铜管，然后通过毛细管作用将铁纳米颗粒填充到铜管中，一个研究团队成功制造了高阻抗的片上微电感器。

在基板上创建基本电感器听起来很容易——只需对基板进行金属化处理（最好使用螺旋形、蛇形或其他图案）。虽然传统的微芯片电感器是相对较大的2D螺旋线，但伊利诺伊大学Holonyak微纳技术实验室的一个团队使用更为复杂的技术将其先前开发的3D电感器技术的性能提高了三个数量级。

他们的蓝宝石单片非MEMS方法使用了充满磁性纳米粒子的完全集成的自卷多层薄壁铜管。该工艺与2D半导体处理兼容，从而在3D空间中创建了一个浓缩磁场分布和能量存储器件。

该团队研究发现，单个微管电感器在10 kHz时实现了1.24 µH的电感，而其面积和体积电感密度分别为3 µH/mm²和23 µH/mm³。他们还以图形方式表征了其Q值（品质因数）和10MHz以下的性能（此外，他们在microTesla中测量了其电感器的磁强度，但这些值更难与标准电路组件参数联系起来）。