具备位移传感器的压电控制器的测量作用

装有电容位移测量验证的压电控制器，本质就是压电控制器，但与一般压电控制器不一样的是，它附加装有电位移测量模块，该测量模块可用测量微运动产品的偏移量，检测范围一般为0~200μm。该压电控制器的作用及操作方法。

作用1：可用以验证闭环压电式纳米定位系统的偏移量

闭环压电式纳米定位系统是可进行位移闭环控制的压电纳米运动定位系统，能够实时反馈以及控制，压电促动器的运动位移量，在该系统中，配置的压电控制器为闭环压电控制器，它由功率放大模块、闭环伺服模块、供电模块构成，可选装上位机控制模块。

闭环压电控制器加装电容位移测量，即可进行压电纳米定位系统自身的位移量的测量。

作用2：开环压电纳米定位系统的位移量验证测量。