21世纪最有前途的技术之一MEMS

MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的简称，中文名字是微机电系统。MEMS芯片简单点来说，便是用半导体技术在单晶硅片上生产制造电子机械系统，再形象一点说便是做一个微米纳米级的机械系统，这一机械系统能够把外部的物理、化学数据信号转化成电子信号。这类集成ic做出来能够干什么?最常见的是承担传感器作用。在整个大的信息管理系统里有点儿类似人的感官，比如MEMS话筒集成ic等同于人的耳朵里面，能够认知响声;MEMS音箱集成ic等同于人的嘴巴，能够发出声音;MEMS加速度传感器、陀螺仪、磁感应器集成ic等同于人的小脑，能够感知方位和速率;MEMS压力集成ic等同于人的肌肤，能够感知压力;MEMS化学感应器等同于人的鼻孔，能够感知味儿和温度湿度。沒有MEMS芯片的人工智能技术和物联网，就等同于一个没有感官系统的人。

MEMS被觉得是21新世纪最有发展前途的技术性之一，假如半导体材料微制造被视作第一次微制造改革，MEMS则是第二次改革。融合硅基电子信息技术和微机械加工制造技术性，MEMS具备颠覆性的工业生产和消费商品的发展潜力。