小尺寸传感应用的高电感平面线圈的设计和制造

在不同类别的传感器中，基于感应的器件具有一些主要优点，因此特别适合于恶劣条件下操作，例如潮湿或肮脏的环境。近年来，业界提出了几种电感式传感器，包含用于不同应用的小型平面线圈。
但是，随着器件尺寸的减小，高电磁性变得越来越难以实现。事实上，MEMS测量的平面电感通常只有有限数量的匝数（通常<50），并且自感值约为几百nH。在这种情况下，技术关键点是增加平面线圈的匝数密度，同时保持导体截面足够大，以限制欧姆损耗和焦耳热。无论何时平面线圈必须与铁磁元件相互作用，应用都需要强大的电磁耦合。目前的工作旨在通过提出并验证一个简单有效的流程来完成上述任务，以解决这个问题。