使用软磁薄膜抑制共平面传输的射频噪声

1 引言

在射频半导体电子设备和电子元件集成技术的发展进程中，有关电子元器件和传输线中的电磁干扰(EMI)问题十分突出，受到设计工程师们的强烈关注。在移相器、开关器件、可调衰减器等等射频器件中，磁性材料对它们的性能起着重要的作用，例如，利用铁磁薄膜材料产生的损耗，可以抑制射频集成器件中传输的电磁噪声。在这篇文章中，介绍几种在传输线上使用的软磁材料薄膜，例如CoPdA10、CoZrO以及CoNoZr等磁膜，同时将它们的性能与非磁性金属（如Cu）和共面线本身的性能进行了比较。