国产首台自主研发的8LP双天车系统SORTER在终端客户成功通过认证

日前，由上海果纳半导体设备有限公司研发团队自主设计生产的国产首台8LP双天车系统的sorter（晶圆传输设备），取得终端客户认证。晶圆传输设备在实现国产化的道路上再次获得技术突破；作为国内半导体传输设备制造的新锐企业，果纳由刚刚被评为“2022最值得关注的女性创业者”之一的创始人叶莹女士的布局发展下，历经短短1年多的快速发展中，陆续获得国内多家知名半导体设备及制造企业的认可，团队以优质快速的服务响应，满足客户定制化的产品研发理念；不断攻克技术难题，对标国际先进水平，打破行业技术垄断，实现弯道超越。这是国产半导体产业良性发展的关键，同时代表着芯片行业细分领域国产自动化设备取得长足进展。

该项目负责人介绍——由果纳自主研发的GN208型8 Loadport SORTER 在西安奕斯伟硅片技术有限公司认证通过，今天正式生产。该机台设备是用于12寸大硅片厂出货前的分选工序，其配备了8套晶圆承载系统，分设备两侧对称安装，可实现两侧同时对接天车。GN208设备结构布局紧凑，占地面积小，分选效率高，有效提高了客户厂房厂务的利用率。

同时，果纳GN208 SORTER机台在设计上采用了恒压微环境的设计概念，使设备内部的晶圆传送区域始终保持较高洁净度等级。通过设计上的保障，严格的组装工艺，以及现场专业的服务团队，该设备仅用了1个月的时间通过了50nm和28nm的particle、edge metal连续测试。

另外，果纳GN208 SORTER 机台配置了更友好的人机界面系统，更便于操作和监控晶圆的分选路径，轻松实现单仓排序，跨仓调配。同时，设备可识别兼容多种晶圆料盒，并搭载高精度晶圆ID读码器，使分选工作更高效可靠。设备采用了完全国内自主开发的SECS/GEM半导体标准传输协议，现已顺利通过客户的EAP测试。