日本最大的工业气体供应商TNSC启用深紫外LED研究

　　近日，TNSC和RIKEN使用TNSC的MOCVD设备进行了验证，展示226 nm波长基于AlGaN的深紫外LED电致发光 (EL)。 

据悉，发射波长为220至350 nm且基于AlGaN的深紫外LED可被用于消毒、医疗等领域，为此TNSC与RIKEN就深紫外LED技术的外延生长和器件效率提升进行了联合研究。 

此前，在4 英寸晶圆配置中使用 TNSC SR4000HT MOCVD演示了280 nm发射波长。这次报告显示2 英寸x 3 晶片配置的TNSC SR4000HT 具有226 nm 短波长的EL发射。图1表示各波长的EL发射光谱，图2则表示Al组成与各波长的关系，表示发光波长相对于Al组成呈线性变化。