公开招标-中国科学院物理研究所电感耦合等离子刻蚀机采购项目

一、项目基本情况

项目编号：TC2208043

项目名称：中国科学院物理研究所电感耦合等离子刻蚀机采购项目

预算金额：380.0000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：380.0000000 万元（人民币）

采购需求：

包号

货物名称

数量

（台/套）

简要规格描述

交货期

交货地点

质保期

是否允许采购进口产品

是否专门面向中小企业采购

采购预算

（万元）

1

电感耦合等离子刻蚀机

1套

设备用途：该设备通过电感耦合（ICP）方式产生高密度等离子体，按掩膜图形、实现对硅、多晶硅、介质、金属、化合物半导体、聚合物等多种材料的选择性刻蚀。

进口产品：合同生效后8个月;

国产产品：合同生效后2个月

进口产品：CIP北京空港

国产产品：北京市怀柔区怀北镇西宰路5号综合极端条件实验装置X2楼

1年，从验收合格之日起计算

是

非专门

380

合同履行期限：交货期：进口产品：合同生效后8个月;国产产品：合同生效后2个月

本项目( 不接受 )联合体投标。