爱思强向美国博伊西州立大学提供CCS 3x2 MOCVD系统

　　近日，德国沉积设备制造商Aixtron SE表示，子公司Aixtron Ltd将从其用于化合物半导体材料的紧密耦合喷头金属有机化学气相沉积(CCS MOCVD)产品系列中向博伊西州立大学提供沉积系统。

　　据了解，此次提供交付给博伊西美光材料研究中心的CCS 3x2系统具有3x2英寸晶圆的容量，最高工作温度为1400°C，这将能够在蓝宝石上沉积石墨烯和六方氮化硼 (hBN)作为氮化镓(GaN)基紫外发光二极管(UV LED)的新型结构。此外，CCS 3x2系统还包括Aixtron专有的ARGUS和EPISON原位计量技术，是唯一可以配置用于组合2D和GaN研究的系统技术，同时还允许异质结构的生长。”

来源：行家说UV