卓程微半导体设备项目开工奠基，总投资3亿元

半导体产业网获悉，日前，卓程微半导体设备（昆山）有限公司在巴城镇开工奠基。

消息显示，卓程微半导体设备（昆山）有限公司，计划总投资3亿元，总用地30亩，总建筑面积约3.4万平方米，主要从事晶圆单片式清洗机、全自动槽式清洗机、尾气处理设备等产品的生产、研发，广泛应用于半导体前道制程、先进封装、MEMS、平板显示等领域。项目建成投产后，将显著增强企业在半导体相关领域的产品力和竞争力。