苏州市产业技术研究院首个创新基地落户高新区

现场，创新基地首批平台项目签约。长三角机器人创新研究院、特种传感技术研究所、碳化硅功率半导体特色工艺技术研究所签约入驻。其中，碳化硅功率半导体特色工艺技术研究所致力于推动苏州市第三代半导体产业发展，打造碳化硅的特色工艺开发平台，实现特色器件从设计到生产、封装、测试的IDM转化尝试。项目计划搭建8寸碳化硅晶圆生产线，开发从器件设计、流片工艺到封装测试技术全产业链的研发与生产技术。