中芯聚源投资克洛诺斯,已完成B轮融资,近亿元

时间:2022-06-29来源:佚名
半导体产业网获悉,近日,深圳市克洛诺斯科技有限公司(以下简称“克洛诺斯”)完成B轮近亿元融资,投资方为中芯聚源。
来源:克洛诺斯官网
官方消息显示,克洛诺斯主营业务为纳米级、微米级直线电机运动平台,是半导体产业、集成电路制造装备领域核心部件供应商。据悉,去年该公司发布了自主研发的“小蓝动力导轨”,将电机与导轨有机结合,拓展到锂电池、光伏等多个行业市场。目前克洛诺斯已经积累了7000多种非标平台的研发经验,客户遍布全国各地、多个领域,包括半导体芯片、新能源锂电、太阳能光伏等。
2021年底,克洛诺斯发布了重复定位精度达±50nm的超精密气浮平台。超精密气浮平台能够为晶圆切割、晶圆检测、晶圆封装等领域提供一个能实现精密定位、检测和精确运动的载物平台,是先进的电子制造设备,如光刻机贴片机工作的主要机构,充分解决高精度零件在加工、检测等方面的难题

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