上海福赛特：打造中国领先的LED/GaN半导体AMHS设备提供商

　　上海福赛特机器人有限公司自主研发的MOCVD AMHS智能物流系统，已经在行业头部客户处投入运行生产。该系统实现MOCVD工艺设备的晶圆倒片、晶圆传输以及数据记录和追溯功能，有效降低了人工成本，并通过全自动生产的方式减少了人工参与造成的产品不良，降低了石墨盘的损耗从而提高了其使用寿命。

　　该系统主要分为倒片区设备和MOCVD工艺设备区设备。倒片区设备主要包括晶圆倒片机，电子货架、倒片区定制AGV和AGV充电设备；MOCVD工艺设备区设备主要包括MOCVD工艺设备、MOCVD中转单元、工艺设备区定制AGV和AGV充电设备。除MOCVD工艺设备外的其它所有设备均由上海福赛特机器人有限公司提供。

(点击查看：MOCVD AMHS智能物流系统展示视频)

　　MOCVD AMHS智能物流系统具有全自动、高节拍、高精度、高配置、智能化、可扩展等特点。

　　●AGV运载石墨盘根据调度系统指令自动在电子货架、晶圆倒片机、MOCVD中转单元之间对接；