精密深度测量技术-日本UNIOn丨三轴测量显微镜

精密深度测量技术——日本UNIOn三轴测量显微镜

品牌：日本UNIOn

型号：DHII系列

HISOMET系列测量显微镜为专业的X、Y、Z轴三轴测量显微镜，X、Y工作台行程由50x50mm到大行程500x500mm，光学放大倍数由3X至1000X。为求提高工件在Z轴深度/高度测量时的精度，Z轴对焦采用光学“裂像指示器”

结合精密的Z轴“Cross Roller Bearing”导轨，可测范围25mm，精度高达1μm，配合特殊附件，测量分解度更可达0.5μ m或0.1μ m。

实际应用：

技术规格：

型号：DH II

工作台行程：50x50mm 100x100mm 100x200mm 150x150mm 150X 300mm200x200mm300x300mm 500x500mm

Z轴测量范围：25mm

X、Y、Z轴数显分解度：0.0005mm / 0.0001mm

Z轴读数装置：内置数显表/外置数据处理系统

反射/透射照明系统：白色LED/外置冷光源

标准目镜：NWF10X

标准物镜(W.D.12mm)：PLM10X

读数系统：内置数显读数器/多功能数据处理器/测量软件电脑系统

选配物镜：

PL M3X (W.D.8.5mm)，

PLM5X (W.D.19mm)，

PLLWDM20X (W.D.11.2mm) ，

PLLWDM40X (W.D. 10mm) ,

SPLM50X (W.D.1. 5mm)，

PLLWDM100X (W.D. 5. 0mm) ,

SPLM100X(W.D.1.0mm)

选配件:

1)特殊Z轴测量范围150mm

2)显示器/CCD视频系统

3)多功能数据处理器/测量软件电脑系统

4) 0.1um数显分解度

5) 工作台转盘