晶盛机电表示公司碳化硅长晶炉已成功生长出6英寸碳化硅晶体
时间：2021-07-06来源：佚名
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公司称，近年布局的第三代半导体材料碳化硅的研发取得关键进展，碳化硅外延设备已通过客户验证。同时在碳化硅晶体生长、切片、抛光环节规划建立测试线，以实现装备和工艺技术的领先，目前测试线进展顺利，设备分批进厂安装调试中。
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