【分享】一种高纯气体增压装置

1.系统组成

该小型高纯气体气驱增压设备来用两级增压的工作方式，系统由控制部分和工作部分组成。工作部分可分为:低压工作区、一-级高压工作区和二级高压工作区,各工作区分别由气缸体气缸腔、活塞和密封组件等构成，各工作区之间由驱动轴相连,以传递压力和实现压强的递增。密封组件用以实现各工作区间的气密和自润滑功能;控制部分由驱动压缩气体自动换向机构发热部件冷却系统、控制高压缸排气的单向气阀等组成，主要实现设备的散热降温、往复换向、压强控制和过压保护,实现设备的安全可靠 连续增压工作。

高纯气体增压装置

2.工艺流程

（1）一级增压：增压设备开始工作后,驱动压缩气体通过气控阀进人低压缸右气腔,同时打开低压缸左气腔排气口(此时该腔与大气相通)。驱动压缩气体与空气分别作用于低压活塞两侧,其压强差会在活塞两则产生压力差，由于驱动压缩气体的压强大于空气的压强,从而推动低压活塞在低压缸内向左移动,并带动驱动轴-起移动。与驱动轴相连的一级高压活塞同时向左移动,致使一级高压腔体积逐渐减小,腔内的被增高纯气体压强也逐渐增高,当其压强高于设定值时，排气单向阀打开，一级压缩高纯气体进入二级高压气缸内,当低压活塞运行至左侧时，一级增压完成。换向机构工作,开始二级增压。