四探针导电电阻测试仪的操作流程

四探针导电电阻测试仪的操作流程

SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.

电阻率：10.0×10-6 ～ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ～ 0.1×103 Ω-cm

棒状、块状样品电阻率测量，符合半无穷大的边界条件:

BEST-300C测试仪能够测量半导体材料体电阻率ρ、方块电阻（薄片电阻率）R口以及体电阻R，测量时需调整相应的修正系数和选择相应的功能。

电阻率ρ=R口×W×D(d/S),式中W：样品厚度（cm）, D(d/S)查附表2。

外形尺寸：

方块电阻测量:

长(高)度： 测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.

方块电阻：50.0×10-6 ～ 1.0×106 Ω/□分辨率5.0×10-6 ～ 0.5×103 Ω/□

电阻测量:

温度： 0-40℃

误差：±0.2%FSB±2LSB

当薄片厚度与针距比W/S>0.5时， 设定电阻率基本系数C，参照表5.1，厚度修正G<1.000,形状位置修正D<1.000,具体值G（W/S）和D（d/S）要查附表1和附表2，只读结果。

测试准备：

当薄片厚度与针距比W/S<0.5时,可以先测方阻，再人工计算厚度和位置形状修正。

在半导体类电阻率或方阻测试中，如果修正系数计算值远小于1，为了显示读取更多有效数字，数据输入可采用准科学记数法，即有效数字取0.100≤X≤1.000，指数（单位）取值10-3～103。

主机 245mm（长）×220 mm（宽）×95mm（高）

方块电阻：薄膜类导体、半导体材料截成薄层正方形时，平行对边间的电阻值只与材料的类别（电阻率）和厚度有关，而与正方形边长无关，这种单位面积的对边间的阻值可反映薄膜的导电特性和厚度信息，称为方块电阻，简称方阻。记为：R□，标准单位：Ω/□

概述BEST-300C型材料电导率测试仪是运用四探针测量原理测试试导体、半导体材料电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准。

误差：±0.2%FSB±2LSB

量程： 20.00mV

电源：功 耗：< 15W，输入:220V±10% 50Hz±2%

数据输入规则说明及示例

对于电阻器类样品，用四端子测试线按照图5-1连接好样品，对于半导体材料，测试前表面应进行必要的处理。如图5-2，对于硅材料要进行喷砂或清洁处理，对于薄膜类的要保持表面清洁，必要的要进行清洁。样品放在平整的台面上。将测试探头的插头与主机的输入插座连接起来，连接好探头和主机。将电源开关置于开启位置，数字显示亮。仪器醉好预热15分钟以上，增加读数稳定性。

仪器具有测量范围宽、精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、外形美观、使用简便等特点。

仪器成套组成：由主机、选配的四探针探头和测试台等三部分组成。

操作概述：

设定R=1.000。，其他可以忽略。只读结果。

电阻率：当某种材料截成正方体时，平行对面间的电阻值只与材料的类别有关，而与正方形边长无关，这种单位体积的阻值可反映材料的导电特性，称为电阻率（体电阻率），记为：ρ，标准单位：Ω-m,常用单位Ω-cm.