电容式传感器的灵敏度与非线性误差

有关电容式传感器的灵敏度与非线性误差，单级变隙电容的相对变化量，要提高灵敏度，应减小d0，但非线性误差却增大，不了解的朋友参考下。

1、单级变隙电容的相对变化量：

2、非线性误差：

结论：要提高灵敏度，应减小d0，但非线性误差却增大。