MEMS压力传感器的结构与工作原理

有关MEMS压力传感器的结构与原理，MEMS即微电子机械系统，它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统，MEMS压力传感器是具有电源、接口电路、执行器、微型传感器和信号处理的微型的机电系统。

MEMS压力传感器的结构及原理

MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。

它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。

它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。

MEMS压力传感器是具有电源、接口电路、执行器、微型传感器和信号处理的微型的机电系统。它可以使用在制作工艺和电路设计上，低成本而高精度地进行大量的生产。其实传统的压力传感器是在当金属弹性体受到外力的作用而导致变形的时候，经过机械量的弹性的变形，然后待电量转换之后再输出，因此，MEMS压力传感器的优越性有很多，尺寸很小，性价比很高。它主要分为两种：硅电容式和硅压阻式。