半导体制造设备及相关轴承简介

在上一篇文章《半导体制造和真空极端环境用轴承简介》中，我们介绍了半导体制造设备轴承的基本介绍，本文为大家详细介绍半导体制造设备用轴承，主要包括如下七处。

一、液晶屏转接设备。如上图所示，液晶屏转接设备使用的轴承广泛分布在液晶屏的上下两端，其使用的主要为深沟球轴承，这类轴承采用马氏体不锈钢材质，并使用特殊PTFE涂层。

二、HD基板转移设备。如上图所示，HD基板转移设备使用的轴承主要位于底部，其使用的主要为深沟球轴承，亦使用马氏体不锈钢材质，并采用特殊PTFE涂层以及特殊轴承滚珠。

三、半导体制造设备内的清洁设备。如上图所示，清洁设备使用纯树脂为内外圈材质的深沟球轴承，滚珠一般采用陶瓷材质，保持架使用PTFE树脂，并由保持架提供自润滑。

四、搬运机器人。如上图所示，搬运机器人使用马氏体不锈钢材质的深沟球轴承，其内轴承运行环境为真空，并使用真空环境用低颗粒润滑脂提供润滑。

五、LCD传送机器人。如上图所示，LCD传送机器人使用的轴承与搬运机器人相同，亦使用真空环境用深沟球轴承及润滑脂。

六、潜水泵。如上图所示，潜水泵使用马氏体不锈钢材质的深沟球轴承，采用聚四氟乙烯树脂保持架，并由保持架提供自润滑，同时，潜水泵用深沟球轴承涂有特种聚四氟乙烯涂层。

七、涡轮分子泵磁力轴承主轴。如上图所示，涡轮分子泵磁力轴承主轴使用马氏体不锈钢材质的深沟球轴承及角接触球轴承，并使用铅铜合金保持架，采用含铅或二硫化钼的润滑脂提供润滑。