半导体制造设备及相关轴承简介

在上一篇文章《半导体制造和真空极端环境用轴承简介》中，我们介绍了半导体制造设备轴承的基本介绍，本文为大家详细介绍半导体制造设备用轴承，主要包括如下七处。

一、液晶屏转接设备。如上图所示，液晶屏转接设备使用的轴承广泛分布在液晶屏的上下两端，其使用的主要为深沟球轴承，这类轴承采用马氏体不锈钢材质，并使用特殊PTFE涂层。

二、HD基板转移设备。如上图所示，HD基板转移设备使用的轴承主要位于底部，其使用的主要为深沟球轴承，亦使用马氏体不锈钢材质，并采用特殊PTFE涂层以及特殊轴承滚珠。

三、半导体制造设备内的清洁设备。如上图所示，清洁设备使用纯树脂为内外圈材质的深沟球轴承，滚珠一般采用陶瓷材质，保持架使用PTFE树脂，并由保持架提供自润滑。