微波等离子清洗机百科

微波等离子清洗机是一款表面处理设备，能够处理各类污染物，主要应用在集成电路、半导体等行业；微波等离子清洗工艺是一种干式精密清洗技术，能够对微孔、狭缝等细小的空间进行处理，解决这类部位的表面处理难题。

一、微波等离子清洗机原理

微波是因为电源频率，分别是直流、低频40KHz、射频13.56MHz及本文介绍的微波2.45GHz。

利用微波源振荡产生的高频交变电磁场将氧、氩、氢等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行表面处理，达到表面清洁活化的目的。

二、微波等离子清洗机优势