镀银支架氧化层处理方法介绍:半导体封装等离子清洗机!

时间:2023-02-23作者:佚名

半导体行业中氧化层是常见的现象,如:硅表面暴露在氧气当中时,都会形成二氧化硅,各类金属支架也易生成氧化层;所以在生产制造中,氧化层的去除非常重要,目前主流的方式是通过半导体封装等离子清洗机处理,相比传统的溶剂处理,它的干式处理过程优势明显!

镀银支架氧化层处理方法介绍:半导体封装等离子清洗机!

1、氧化层是什么?

金属遇空气表面生成一层致密的氧化物薄膜,以阻止金属与空气继续反应。例如铝是一种活泼金属,容易发生氧化,生成一种致密的氧化膜,对铝具有保护作用,而有些金属氧化膜则不行,就像铁,因为它的氧化膜是疏松多孔的,对此类金属要实行防氧化措施。

2、为什么半导体封装等离子清洗机可以去除氧化层呢?

镀银支架氧化层处理方法介绍:半导体封装等离子清洗机!

上图就是去除基体表面的弱键以及典型-CH 基有机污染物和氧化物的原理。

我们可以看到清洗前的氧化层在放电反应中与氧原子结合,生产二氧化碳、一氧化碳、水分子等,通过真空泵抽气,将这些产物抽走,得到洁净的表面。

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