半导体行业的连续式等离子清洗机究竟是什么样的？

有那么一种高新技术设备叫连续式等离子清洗机，它在半导体封装行业可谓是神兵利器，能够为半导体加工提供极大的便捷。可能这个名字你没有接触过，但是另一个名字你可能有所了解那就是在线式等离子清洗机，其作用是可以起到在流水线上连续进行等离子表面处理的作用。今天我们要说到的就是这个连续式等离子清洗机，看看它在半导体行业有哪些应用呢？

1、连续式等离子清洗机类别介绍

连续式等离子清洗机的类型其实很多，主要是以放电形式和上下料自动动作来区分的。按照放电形式，可分为PE模式和RIE模式，这是与功率电极的连接、电极结构和产品放置相关的；按照上下料的方式，有平台交互式、抽屉式和一进一出式。

先就设备本身而言，连续式等离子清洗机它的主要组成部分有：上下料自动装置、真空系统、等离子发生器、气路控制和真空等离子反应腔体。

2、连续式等离子清洗机工作方式

1.产品传送到真空反应腔体内；

2.真空泵将腔体内的环境抽到接近真空状态；