为什么真空等离子清洗机在运作的过程中会产生不同的颜色?

时间:2023-02-23作者:佚名

就在同一台机器内,使用同一种工艺参数,没有改变任何条件的情况下,我们通过真空等离子清洗机的反应腔室观察,当中的放电颜色却经常不同。这会不会是设备出了问题?或者进入了什么杂质?不知道在使用的过程中你是否遇到过?针对这些疑问,普乐斯在这里为您答疑解惑。

为什么真空等离子清洗机在运作的过程中会产生不同的颜色?

想要知道这是怎么一回事,我们需要从真空等离子清洗机的工作原理开始了解。

在等离子清洗机的过程中,其反应腔室内通过真空泵抽出空气获得一定的真空度之后,会通入一些相关气体,并且激发能量形成等离子体。在设备运作的过程中影响等离子体放电的参数包括:气体种类、气体比例、气压、气源供给、功率、频率等,其中与等离子体颜色密切相关的是气体、气压和气源。

以下是气体、气压和气源对真空等离子清洗机放电颜色的影响:

1、气体成分对于真空等离子清洗机放电颜色的影响

如氧气、氩气、氮气、四氟化碳等单一气体,或者这些气体的混合气体,最后产生的等离子颜色是不同的。

为什么真空等离子清洗机在运作的过程中会产生不同的颜色?

2、气压大小对于真空等离子清洗机放电颜色的影响

在真空等离子清洗机每一次运行中,都会将反应腔室处理成真空状态,但是如果在反应腔体和管路内有残余的气体,例如空气,真空度的不稳定就会影响放电颜色。

为什么真空等离子清洗机在运作的过程中会产生不同的颜色?

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