看过来，低压真空等离子清洗机都长什么样？

箱体式的等离子清洗机需要抽真空吗？真空等离子清洗机能实现在线生产吗？真空等离子清洗机是怎么通气进去的？对于大部分少有涉及等离子表面处理工艺的朋友来讲，有这些疑问都很正常。虽然低压真空等离子清洗机已经逐渐被精密电子、半导体、生物医疗、汽车制造、动力电池等行业应用起来，但毕竟它属于专用设备，尤其是要与工艺配合，所以了解的人并不多。为了让更多的朋友知道这种工艺设备，今天就请我们普乐斯的工程师就给大家分享一下。

低压真空等离子清洗机，简称真空等离子清洗机或低气压等离子清洗机，由于产生等离子体的环境是在一个密闭的反应腔体里面，所以需要抽取真空并维持一定的真空压力值。

一、低压真空等离子清洗机的设备外观

常见的低压真空等离子清洗机都是长方体的外形，上面有一根圆柱形的警示灯，如下图：

1、真空腔室：简称真空腔，反应腔，反应箱体，材质是铝或者不锈钢；内部有不同结构的电极板，需要处理的产品或材料就放在里面。

2、真空室监视窗：也叫观察窗，形状各异，一般是特种玻璃或者石英，透过它可以观察等离子体放电状态。

3、工作气体进气管：需要通入的工艺气体由此导入，从门上进气。

4、机柜前门：机柜里面一般都会有等离子发生器，真空泵，流量计、真空计和电控部分；机柜材质包括铁质、不锈钢和塑钢等；铁质机柜的表面处理一般是喷塑或者喷粉。

5、设备电源开关：低压真空等离子清洗机的总电源开关。

6、紧急停止开关：遇到任何紧急情况需要终止设备运行的开关。

7、人机界面：PLC触摸屏或者工控触摸屏。

8、工作指示灯：显示低压真空等离子清洗机的运行状态。绿色表示正常运行，黄色表示提醒，红色为故障出现；常常会配上蜂鸣器。

低压真空等离子清洗机的外观还有像ATM机、烤箱、微波炉等等的形状，表面处理的颜色有白色、米色、黑色或者是多色复合，主流是简洁、大方。

在线低压真空等离子清洗机，一般是指产品在等离子处理过程中，取放动作依靠自动化装置，不需要人参与。下图是一款在线等离子清洗机：

二、低压真空等离子清洗机的主要部件

低压真空等离子清洗机的主要部件包括真空腔体、金属电极、等离子发生器、真空泵、流量计、电磁阀、真空计和PLC等。其中真空腔体大小，金属电极的结构是可以根据客户产能、工艺要求设计定做；等离子发生器是为设备提供能量；真空泵是保证和维持真空度的；流量计，电磁阀是用来开关、测量气体；真空计是为了测量真空腔体的真空度；PLC则是整个设备运行的电气中枢。

三、进口品牌的低压真空等离子清洗机的设备外观

等离子体技术和应用来自国外，国产低压真空等离子清洗机的外观设计基本都借鉴进口品牌；经过短短十几年的发展，我们已经取得了长足的进步，如果能在工业设计理念上继续提升，未来可期！

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