看过来，低压真空等离子清洗机都长什么样？

箱体式的等离子清洗机需要抽真空吗？真空等离子清洗机能实现在线生产吗？真空等离子清洗机是怎么通气进去的？对于大部分少有涉及等离子表面处理工艺的朋友来讲，有这些疑问都很正常。虽然低压真空等离子清洗机已经逐渐被精密电子、半导体、生物医疗、汽车制造、动力电池等行业应用起来，但毕竟它属于专用设备，尤其是要与工艺配合，所以了解的人并不多。为了让更多的朋友知道这种工艺设备，今天就请我们普乐斯的工程师就给大家分享一下。

低压真空等离子清洗机，简称真空等离子清洗机或低气压等离子清洗机，由于产生等离子体的环境是在一个密闭的反应腔体里面，所以需要抽取真空并维持一定的真空压力值。

一、低压真空等离子清洗机的设备外观

常见的低压真空等离子清洗机都是长方体的外形，上面有一根圆柱形的警示灯，如下图：

1、真空腔室：简称真空腔，反应腔，反应箱体，材质是铝或者不锈钢；内部有不同结构的电极板，需要处理的产品或材料就放在里面。

2、真空室监视窗：也叫观察窗，形状各异，一般是特种玻璃或者石英，透过它可以观察等离子体放电状态。

3、工作气体进气管：需要通入的工艺气体由此导入，从门上进气。

4、机柜前门：机柜里面一般都会有等离子发生器，真空泵，流量计、真空计和电控部分；机柜材质包括铁质、不锈钢和塑钢等；铁质机柜的表面处理一般是喷塑或者喷粉。

5、设备电源开关：低压真空等离子清洗机的总电源开关。

6、紧急停止开关：遇到任何紧急情况需要终止设备运行的开关。