注意哦，真空等离子清洗机的电极保养不可掉以轻心！

电极作为真空等离子清洗机反应腔体放电的关键部件之一，在设备保养过程中往往容易被我们忽视。不知道大家有没有注意到，真空等离子清洗机持续工作一段时间后，会看到这些现象：反应腔体内的放电不稳定甚至有拉弧；处理的产品不如之前的效果好；等离子发生器匹配不上；电极某个地方温度非常高等等，究其原因有可能是电极保养不当造成的影响哦。我们普乐斯的技术人员和客服人员，结合多年的研制和服务经验，总结了一些心得，今天分享给大家。

1 真空等离子清洗机电极的材质、组成和功能

常见的真空等离子清洗机是电容耦合式放电，即CCP放电，电极相当于电容，一般是成双成对的对应关系，包括水平电极、垂直电极、组合式电极等。无论是13.56MHz射频激发产生等离子体，还是40KHz中频激发产生等离子体，在一定的真空度环境下当等离子发生器给电极施加能量，就会在两极之间产生电位差激发气体产生等离子体。

1）电极的材质：打孔或者整块金属铝板

2）电极的组成：铝板、馈入接头和绝缘条

3）电极的功能：具有电容特性，通电后极板带电形成电势差，当能量集聚到一定程度，可以把两极之间的气体激发电离形成离子体。

2 影响真空等离子清洗机电极放电不佳的一些原因

真空等离子清洗机的电极，我们也叫负载，当负载发生任何变化的时候，都会影响等离子体的产生和等离子表面处理的效果。

1）经常插拔电极，会造成电极馈入磨损或接触不良；电极馈入使用久了，表面被氧化使其电阻增大时，放电会不稳定，层间温差比较大。

2）等离子处理材料时，等离子体会和材料表面发生物理或化学反应，大部分气化的东西都会被真空泵抽走，但也有极少的物质会粘在电极表面，日积月累，慢慢的电极表面就被污染物遮挡起来。如果是绝缘层，相当于让电极的电容变大，放电需要的功率会更高；当电极表面被导体粉末或者碳等污染物遮挡时，电极的电容变小，放电的功率降低，有可能导致拉弧，电极局部温度会很高。

3）负载的变化，会直接导致等离子发生器的匹配受到影响，出现匹配不好的情况。

3 真空等离子清洗机的电极保养注意事项

1） 真空等离子清洗机的设备保养里面都会有电极维护保养的要求，为了把工作做得更细，可以单独制定出等离子清洗机电极保养计划，包括日计划、周计划、月计划和年度计划。

2）电极每天工作前后都要用无水酒精擦拭干净，不留死角，保证电极表面洁净如新；定期取出电极看看电极馈入是否氧化或需要更换；绝缘条有没有磨损或者绝缘效果不好，需不需要更换。

3）根据不同的使用环境和工艺要求，当电极表面已经不能通过人工擦拭方式变干净，或者是电极表面已经形成肉眼看到见的污染层，这就需要取出电极请专业人员进行打磨甚至是更换电极。

总之，真空等离子清洗机的电极维护保养工作如果做好了，不仅可以保证等离子表面处理的效果，而且可以延长设备的使用寿命，提高经济效益。

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