铜支架经过等离子清洗机处理后变色，这是怎么回事儿？

半导体封装行业，包括集成电路、分立器件、传感器和光电子的封装，常常会用到铜材质的引线框架，为提高键合和封塑的可靠性，一般会把铜支架过等离子清洗机处理几分钟，以清除表面的有机物、污染物，增加其可焊性、粘接性。但有时候我们会发现，铜支架在等离子清洗机的真空环境下处理不当，容易出现表面变色、发黑，严重的甚至是烧板等现象。难道是因为腔体里面空气没有抽干净，残余空气中氧分子被激发，形成氧等离子体与铜表面发生化学反应而形成氧化铜的结果？原因真的就这么简单吗？普乐斯资深工程师结合多年等离子清洗铜支架的实践经验，与大家一起分析一下。

1 等离子清洗机真空度对铜支架清洗效果和变色的影响

等离子清洗机真空度关联因素包括真空腔体漏率、背底真空、真空泵的抽速和工艺气体的进气流量等。真空泵抽速快，背底真空值越低，说明里面残留的空气越少，铜支架与空气里面的氧等离子体反应的机会就越少；当工艺气体进入，形成的等离子体可以充分与铜支架反应，没有被激发的工艺气体可以把反应物带走，铜支架清洗效果会好，不容易变色。

2 等离子清洗机电源功率对铜支架清洗效果和变色的影响

等离子清洗机电源功率关联因素包括能量功率大小和单位功率密度。电源功率越大，等离子体能量就越高，对铜支架的表面轰击力越强；同等功率的情况下，处理的铜支架越少，单位功率密度就越大，清洗的效果就越好，但有可能会造成能量过大，板面变色或者烧板。