影响等离子清洗机放电的匹配器，您了解多少？

等离子清洗机不放电或者放电不稳定，往往是等离子发生器的阻抗匹配出了状况。等离子发生器在进行能量传输时，假如反应腔体和电极（以下简称负载）阻抗和传输线的特征阻抗不相等，就会在传输时发生反射，有部分能量通过发热等方式损失掉了，而不是所有能量都被等离子清洗机的负载吸收，这样就会直接影响等离子表面处理的效果。既然匹配器对等离子清洗机如此重要，那你对它有了解吗？今天就让我们来了解一些这方面的基础知识。

1 等离子清洗机反应腔体、电极与等离子发生器之间的桥梁——阻抗匹配器

在高频放电回路中，为了保证用于放电区的功率消耗保护振荡器，常规的做法就是在高频电源与等离子腔体、电极之间设置阻抗匹配网络，以便按不同放电条件进行调节，使高频发生器的输出阻抗与负载阻抗能够匹配，让等离子清洗机放电稳定，工作效率高。

2 等离子清洗机阻抗匹配的工作原理

对一个带负载的直流回路来说，负载匹配条件是必须让外电路的负载电阻与电源内阻相等。直流回路的这一Z大功率定理实际上也存在于相应的交流回路中。下图为具有负载阻抗z的高频回路。

设电源内阻抗（即输出阻抗）为（a jb）Ω，那么为了在负载上获得Z大的功率输出，就得使负载阻抗与高频发生器输出阻抗“共轭匹配”。共轭匹配的结果是把总阻抗变成纯电阻的，这意味着负载阻抗Z必须等于（a-jb)Ω。