关于等离子清洗机高频放电的效率浅析

我们常常会听到说等离子清洗机的电源频率有低频40KHz、高频13.56MHz和微波2.45GHz之分，频率越高对处理材料的效果越好。许多实验结果也证明高频放电在增强电离和维持放电等方面较之低频放电有效得多。究其原因，众说纷纭，莫衷一是。为帮助大家了解等离子清洗机高频放电效率的相关知识，我们收集整理了一些资料分享给大家，以供参考。

随着频率的增加，能够产生自持放电的最低允许气压明显下降；例如当频率为13.56MHz时，气压低于0.133Pa尚可维持放电。再如，放电相同时，高频放电的放电阻抗比低频放电时更小。其结果是在给定的放电电压下流过的电流显著增大。这些非同寻常的电离现象是与高频电场中电子运动行为密切相关的。

1 等离子清洗机的电场强度和频率是决定电子运动行为的重要参量

当放电频率为13.56MHz时，不同场强下电子的振幅和所能获得的最大能量列表如下：

从电离的角度来看，例如Ar原子的电离，电子必须至少获得15.7eV的能量。按表中数据，电场强度只要比10V/cm略高就行了。但是，在此能量范围的电子弹性碰撞截面约为10的-15次方cm，而电离截面则要小约两个数量级，因此就发生等离子体而言，必须要比10V/cm强得多的电场。