等离子表面处理设备的聚合工艺特点和用途有哪些？

等离子表面处理设备在工业生产中常常被用于各种材料表面的清洗、静电消除、去除灰尘和脏污、增加表面粘接性能等，俗称等离子清洗机，其实这是对等离子表面处理设备的功能特性比较初级的认识。建立在高分子化学、等离子体化学、表面科学和反应控制论等交叉学科基础上发展起来的等离子技术，利用等离子表面处理设备这种载体可在三个领域应用大展身手：等离子表面改性、等离子体聚合和等离子体引发聚合，今天我们先通过实例来了解一下等离子表面处理设备的等离子体聚合工艺的特点和用途。

1 等离子表面处理设备的聚合实例-PET无尘布疏水层形成后的水滴角变化

PET聚对苯二甲酸乙二醇酯，简称聚酯，别名涤纶、达克纶等，在较宽的温度范围内具有优良的物理机械性能，长期使用温度可达120℃，电绝缘性优良，耐疲劳性、耐摩擦性、尺寸稳定性都很好，是制造无尘布很好的原材料。PET无尘布虽然表面亲水性并不好，但仍然可以透过水珠，水滴接触角1°，如下图。

我们把PET无尘布样品放入真空等离子表面处理设备中，设定好相关的工艺参数，包括功率、流量、工艺气体等，处理10分钟左右，取出PET无尘布样品再进行水滴接触角测量，令人惊讶的事情就发生了，水滴接触角从1°变成了135°，如下图。

这就是等离子体聚合现象，我们借助等离子表面处理设备做了一次神奇的操作，在PET无尘布表面形成了一层疏水膜，水滴无法渗透过无尘布！

2 等离子表面处理设备的等离子体聚合及特点

等离子体聚合是利用等离子表面处理设备放电，把有机类气体单体等离子化，使其产生各种反应形成聚合膜，是沉积高聚合物薄膜的一种方法。等离子体聚合与传统的聚合方法比较其特点如下：

1）大大拓展了单体物质的种类，理论上几乎所有的有机物质都能作为单体；

2）生成的聚合膜具有高密度网架结构，机械强度、化学稳定性和热稳定性好；

3）全程干式处理，这种工艺技术运用起来方便、环保。

3 等离子表面处理设备的等离子体聚合工艺的用途

等离子表面处理设备的等离子体聚合工艺形成的聚合膜与普通聚合膜不同，在性质上被赋予了新的功能，因此成为研制功能高分子膜的一种有效途径，在以下半导体、电子、医疗等领域的具体产品上广泛应用。

1）光刻胶膜；

2）电子元器、传感器膜；

3）生物医学特种膜；

4）光学材料的反射膜；

5）疏水/亲水膜、离型膜、绝缘膜、防锈膜等。

留一个话题，我们完成PET疏水涂层的等离子体聚合在等离子表面处理设备中通入的是哪几种工艺气体？大家还有没有更好的方案，可以与我们探讨。

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