正弦波DBD等离子体清洗机的气动激励特性有哪些？

按照放电原理、等离子体特性的不同，等离子体清洗机气动激励大致可以分为：DBD等离子体气动激励、电弧等离子体气动激励、电晕放电等离子体气动激励等。其中DBD等离子体清洗机气动激励根据激励电压波形不同，可细分为正弦波DBD和纳秒脉冲DBD两种，今天向大家主要介绍的就是正弦波DBD等离子体清洗机气动激励特性的相关内容。

DBD等离子体清洗机气动激励包括表面DBD等离子体特性和诱导的流动特性两部分，其中诱导的流动特性可以通过粒子图像测速仪和皮托管测试得到，而表面DBD等离子体特性很难通过直接测试得到，往往需要通过发射光谱测试并对关键参数进行诊断。由于等离子体气动激励需要在不同的环境下工作，气压等环境参数对其特性往往有着重要的影响。

表面DBD等离子体清洗机特性，主要包括等离子体的电子密度、温度，中性粒子的转动温度、振动温度等参数。采用的不对称布局的表面DBD等离子体气动激励器能够对参数进行测试和诊断，气动激励器应采用罗杰斯板为绝缘材料，电极材料为铜镀锌。等离子体气动激励器示意图如下图所示。

主要参数包括电极长度le、电极偏置长度△le、上表面电极宽度d1、下表面电极宽度d2、电极组内间距△d、电极厚度he、绝缘介质介电常数εr、绝缘介质材料厚度hd、相邻电极组间距D。

在测试和诊断中，采用的等离子体电源为单相脉冲高压高频电源，电源输入为220V、50Hz的交流电，输出为电压0~40kV连续可调、频率6~30kHz连续可调的正弦波信号，可进行脉冲调制。脉冲调制频率f=1/TM，占空比DC=TA/TM×100%，分别在100~1000Hz、1%~99%连续可调。下图是激励电压幅值为5kV、频率为23kHz时，等离子体气动激励器所观察到的放电图像，呈现出了均匀的弥散放电行为。

发射光谱是物质的分子、原子和离子等一些粒子从高能态跃迁到低能态，释放出光子所形成的光谱。对发射光谱进行分析可以得到大量的信息，一是根据谱线波长确定等离子体的激发物种；二是根据谱线强度及强度分布对物种进行定量描述；三是根据谱线线形，通过模拟或计算得到转动温度等参数。

亲，感谢您耐心的阅读！如果此文对您有所帮助，敬请点个赞或者关注一下；如果您有更好的建议或内容补充，欢迎在下方评论区留言与我们互动。本百家号的宗旨是专注等离子清洗机和低温等离子体的技术研讨，与您分享等离子表面处理工艺、原理及应用等相关知识。