四氟化碳气体在等离子清洗机中的应用

等离子清洗机的功能主要包括清洗、活化、接枝（沉积）及刻蚀，实现这些功能除对放电方式和电极结构有要求外，工艺气体的选择也是非常重要的，特别是刻蚀功能。那么等离子清洗机实现刻蚀功能通常会用什么气体，又有哪些常规注意事项呢？今天我们就为大家分享一下相关知识，供大家参考。

1 概述

刻蚀通常又会被称为蚀刻、咬蚀、凹蚀等，刻蚀作用是利用典型的气体组合形成具有强烈蚀刻性的气相等离子体与物体表面的有机物基体发生化学反应，生成其他比如CO,CO2,H2O等气体，从而达到蚀刻的目的。

实现刻蚀所使用的气体大多为含氟气体，应用最多的是四氟化碳。四氟化碳是一种无色无味的气体，无毒、不燃，但在高浓度时具有麻醉作用，所以在工业应用时储存的容器为专用高压气瓶，所使用的减压阀也为专用减压阀。

四氟化碳在被等离子清洗机电离后会产生含氢氟酸成分的刻蚀性气相等离子体，能够对各种有机表面实现刻蚀及有机物去除，在晶圆制造、线路板制造、太阳能电池板制造等行业中被广泛应用。

2 辉光放电颜色

真空等离子清洗机电离四氟化碳气体产生的等离子体颜色为白色，肉眼观察类似于稀薄的白色雾气，辨识度很高，很容易与其他气体区分。

3 应用介绍

（1）晶圆制造行业应用