等离子清洗为什么被称为环保的精细清洗工艺

等离子体清洗是利用能量离子对表面辐照及利用自由基激发表面的化学反应实现清洗的新型清洗技术，已经被大量的应用于表面清洁度要求非常高的精密清洗工序。那么等离子清洗和常规清洗相比有什么区别，又和环保有什么关系呢？今天我们就为大家简单的分享下相关知识，供大家参考。

表面清洗是一种去除吸附在表面的外来的非不可或缺材料的清洁过程，附着的材料可能会对产品的工艺流程及性能造成不良影响，表面清洗是先进制造业必不可少的工艺步骤。行业不同，那么所清洗的产品及清洗目的也是完全不同的，它们都有各自特定的洁净标准，有一般要求也有高精度的要求。

传统的清洗方式包括水清洗、溶剂清洗和化学清洗等，通常是超声分离、高压喷射等物理作用和增溶、转换等化学作用相互结合以达到清洗的目的。这些清洗方式看起来便宜，但会消耗大量的能源及造成环境污染。清洗所用的溶剂大多是易燃或有毒的物质，排出的污水及废气对环境造成了严重的损坏。

利用湿式法清洗完成后，表面都会有一些水或化学残留，还需要采用其他方法进行二次清洗。对于对清洁度要求高的精密器件还需使用精细清洗技术。等离子清洗就是一种能有效替代化学清洗的技术，等离子清洗机在去除表面污染物的时候不会产生健康或安全隐患。

随着科学技术的发展，各种器件越做越精密，那么对于清洗的要求也越来越高，特别是在芯片制造、成像及显示等领域，如手机摄像头、晶圆、电容屏、柔性屏等，对于表面微污染物的要求极其高，甚至表面不能残留纳米级的颗粒。因为污染物体积小、成分复杂且通常表面要求不能存在有机残留，这时等离子清洗机的作用就更能够体现出来。等离子清洗机所产生的等离子体能够将有机污染物分子链打断，使分子结构中的元素与基体脱离，脱离后的元素与等离子体中的自由基发生化学反应，进行分子重组，形成无害气体排出，以达到表面清洁的目的。

等离子体清洗也可与水洗工艺结合，以增强清洗效果。等离子体干法清洗是对水洗的一种极好相互补充手段。

相对于液体清洁系统，综合考虑化学品存储、处理和可靠性等因素，等离子体清洗的成本就显得非常便宜了，只需考虑采购等离子清洗机的成本，其使用过程中产生的费用微乎其微。同时等离子清洗机可将有害的化学残留分解成无害气体，且工艺过程中只需使用常规的工业气体，可做到不使用有害物质、不排出有害物质，整个工艺过程属于环保的工艺。

等离子清洗机除了应用于工件的表面清洗外，目前也被应用在了去除微生物污染、废气处理、土壤处理及相关的环境治理中。

等离子体清洗是一种高精细的清洗工艺，可对各种高洁净要求、高精密的器件进行表面清洁，同时可实现不使用有害、有毒的介质，不排放有害污染物，还可将部分有害物质转换成无害气体，操作简单，安全可靠。

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