大气压DBD等离子清洗机氮气均匀放电怎样获得？

大气压下DBD等离子清洗机均匀放电又称为大气压下准辉光放电，一直以来都是大气压DBD研究的重要方向，在以往关于大气压DBD的介绍中，通常都是使用氦气来做相关的实验及说明的，那么大气压氮气DBD均匀放电又是怎样获得的呢？首先我们需要了解到的是，与氦气相比，等离子清洗机要想在大气压环境中实现氮气均匀放电的难度相对较大，只能在较短的气隙中实现。因此，我们在氮气DBD放电实验中，我们可以大致沿用氦气实验的装置，但需要将气隙长度缩短为2mm。

整个实验过程需要先将放电室抽真空至5Pa以下，然后充入纯净的氮气（99.999%)，并且维持一定流速的纯净氮气流，如30cm/s。设计吹气系统和抽气系统以动态维持放电室的气压在一个大气压。质量流量计控制流速范围为0~30slm(标准升/分钟），对应间隙内的气流速度为0~167cm/s。

上图是外加电压幅值为12kV、频率3kHz时得到的典型的外加电压与放电总电流的波形图。从图中可以看出，外加电压为准正弦波形；每半个电压周期中有一次放电，电流脉冲的幅值约为4.5mA，半高宽约为50μs。